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液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能。
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コガネイ 小形FRシリーズ レギュレータ 標準タイプ 横配管 RN
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コガネイ 小形FRシリーズ レギュレータ 低圧タイプ 裏配管 RDN
コガネイ 小形FRシリーズ レギュレータ 低圧タイプ 横配管 RN
コガネイ 小形FRシリーズ マニホールドレギュレータ 単体 MRN
コガネイ 小形FRシリーズ フィルタレギュレータ 標準タイプ FRN
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コガネイ ルブリケータ L
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コガネイ ミストフィルタ MF
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コガネイ マルチシリーズ MMF
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コガネイ マニホールドレギュレータ ハイリリーフタイプ HR
コガネイ マイクロミストフィルタ MMF
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液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度(感度0.001MPa)に設定可能。